當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光氧一體機(jī)內(nèi)時(shí)，先經(jīng)過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，即電子 先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)。

低溫等離子除臭設(shè)備是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處理工程中的應(yīng)用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成。